| 변위 센서 |
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LXA 시리즈
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고정밀도 계측형 레이저 변위 센서
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고감도 리니어 이미지 센서와 전자 셔터(자동조광제어)의 채용으로 초고정밀도 측정을 실현!
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특징
- 고감도 리니어 이미지 센서 채용에 의해, linearity±0.1% of FS를 실현.
- 전자 셔터(자동조광제어)의 채용에 의해, 워크의 색이나 광택, 재질의 영향을 줄였습니다.
- 샘플링 주기 100μs의 고속 변위 센서.
- 독립한 5 계통 콤퍼레이터 출력을 장비.
- 콘트롤러와 모니터를 일체화한 앰프로 조작성을 UP.
- 심플 버튼·칼라 액정 채용으로 간단 조작을 철저 추궁.
- 8채널의 뱅크 기능 첨부.
- 보호 구조 IP67의 센서 헤드.
사용예
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| ●편차 계측＜스릿타가 거절해라＞ |
●편심계측＜롤러의 편심＞ |
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●높이 계측＜프르툽의 떠＞
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●휘어진 상태 계측＜기판의 휘어진 상태＞
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●두께 계측＜보드(건재)의 두께＞
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●두께 계측＜웨이퍼의 두께＞
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주의 사항
■레이저에 관한 주의 사항
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이 상품은 가시광선 레이저 빔을 방사하고 있어, JIS C6802/IEC 레이저 안전 규격의 클래스 1또는 2에 상당합니다.
미국에 수출하는 경우, 미국의 레이저 규격 FDA(Food and Drug Administration)를 받습니다.
미국에 출시되는 경우는 당사까지 문의해 주세요.
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●초고정밀도(클래스 1)
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●고정밀도(클래스 2)
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사양
●센서 헤드
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종 류
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초고정밀도
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고정밀도
단거리 타입
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고정밀도
중거리 타입
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고정밀도
장거리 타입
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형 식
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HXA-25KL
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HXA-30K
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HXA-85K
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HXA-350K
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품 코드
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VHXA001
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VHXA002
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VHXA003
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VHXA004
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광학 방식
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정반사
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확산 반사
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측정 범위
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25mm±1mm
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30mm±5mm
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85mm±20mm
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350mm±100 mm
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광 원
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적색 반도체 레이저 650 nm
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레이저 클래스
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IEC/JIS 클래스 1
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IEC/JIS 클래스2
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최대 출력
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390μW 1 mW
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레이저 수명
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약 50,000시간(40℃에서)
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스포트경※1
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약 25×35μm
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약 30×100μm
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약 70×290μm
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약 300×700μm
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직 선 성※2
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±0.1%F.S
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분해 가능※3
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0.1μm
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1μm
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3μm
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40μm
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온도 특성
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±0.01%FS/℃
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표시등
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레이저 방사 표시등
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록LED(레이저 방사중에 점등)
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측정 범위 표시등
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적LED(근거리측), 등LED(측정 중심), 초록 LED(원거리측)
적록교호 점멸(측정 범위외 및 측정 불능시)
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접 속
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연결기식
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사용 주위 조도
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백열 램프：3,000 lx이하, 태양광：10,000 lx이하
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사용 주위 온도·습도
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-10~+45℃(보존시-20~+60℃), 35~85%/RH(보존시 35~85%/RH).단 빙결·결로 하지 않는 것
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내 진 동
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복진폭 1.5 mm, 10~55 Hz, X·Y·Z각방향 각 2시간
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내 충 격
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498m/s2, X·Y·Z각방향 각 3회
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내 전 압
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AC1000V 1분간
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절연 저항
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20MΩ(DC500V) 이상
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보호 구조
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IP67(IEC 규격)
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케이스 재질
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본체：알루미늄 다이캐스트, 창：유리
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질 량
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250g(케이블 포함)
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케이블 연장
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연장 케이블(별매)로 최대 10 m까지 가능
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부속품
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설치 나사(M4×35)
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※1.측정 중심으로라고 중심 강도 1/e2(13.5%)로 정의하고 있습니다.
규정의 스포트 사이즈 이외에도 누락빛이 있어, 검출 거리 부근의 주위에 반사율의 높은 것이 있는 경우, 그 영향을 받는 경우가 있습니다.
※2.평균 회수 256회(전용 앰프 유닛에서), 흰색 세라믹 측정시의 값입니다(XHA-25 KL는 유리 측정시).
※3.평균 회수 256회(전용 앰프 유닛에서), 측정 중심으로의 대표적인 값입니다.대상물에 의해 변화하는 경우가 있습니다.
●앰프 유닛
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종 류
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초고정밀도 센서 헤드
(HXA-25KL) 용 앰프 유닛
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고정밀도 센서 헤드
(HXA-30K/85K/350K)
용 앰프 유닛
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형 식
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LXA-DCL
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LXA-DC
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품 코드
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VLXA001
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VLXA002
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전원 전압
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DC12~24V ±10%
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소비 전류
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270mA DC24V시(센서 헤드 2대, 아날로그 출력 전류 포함)
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센서 헤드 접속 대수
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최대 2대
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샘플링 주기
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100μs
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온도 특성
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±0.01$ F.S/℃
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제어 출력
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NPN 오픈 콜렉터 출력 100mA DC24V 이하(잔류 전압 1.8 V이하).
5출력(독립 설정가능), 히스테리시스 설정가능.
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아날로그 출력
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전압 출력：±5V/F.S(출력 impedance 100Ω, 분해가능 1mV)
전류 출력：4~20mA/F.S(부하 impedance 300Ω이하, 분해가능 1.5μA)
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알람 출력
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NPN 오픈 콜렉터 출력 100mA DC24V 이하(잔류 전압 1.8 V이하) .헤드가 측정 불능 상태때 ON
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뱅크 입력
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GND에 접속으로 ON.8 뱅크(측정 조건 설정 8 패턴 등록·전환 가능)
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홀드 입력
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GND에 접속으로 ON.레이저 OFF 혹은 측정치 홀드(메뉴에서 설정)
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제로 리셋트 입력
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GND에 접속으로 ON.헤드 A측정치/헤드 B측정치/연산치의 제로 리셋트가 가능
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부 기 능
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평균 회수 설정, 필터 설정(주파수 설정), 연산 기능 설정, 홀드 설정, 알람시 측정치 설정, 히스테리스시스 설정, 아날로그 출력 설정, 센서 헤드 감도 설정, 타이머 설정, 메모리 설정, 뱅크 설정, 오토 제로 리셋트
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회로 안정 시간
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5 min 이하
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표 시
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LCD 디스플레이
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접 속
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단자대식
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사용 주위 온도·습도
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-10~+45℃(보존시-20~+60℃), 35~85%/RH(보존시 35~85%/RH).단 빙결·결로 하지 않은 것
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내 진 동
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복진폭 1.5 mm, 10~55 Hz, X·Y·Z각방향 각 2시간
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내 충 격
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196m/s2, X·Y·Z각방향 각 3회
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내 전 압
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AC1000V 1분간
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절연 저항
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20MΩ(DC500V) 이상
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보호 구조
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IP20(IEC 규격)
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케이스 재질
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본체：폴리카보네이트(polycarbonate) 단자대：나일론66
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질 량
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240g(단자대 포함)
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부 속 품
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단자대
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외형도
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센서 헤드
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●초고정밀도
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●고정밀도
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※1 HXA-85 K는 42.3, HXA-350 K는 50이 됩니다.
※2 HXA-30 K/HXA-85 K의 값입니다.HXA-350 K는 27이 됩니다.
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앰프 유닛
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연장 케이블(별매)
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입·출력 회로
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●입력 회로[뱅크 입력, 홀드 입력, 제로 리셋트 입력】
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●출력 회로【제어 출력, 알람 출력】
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●출력 회로【아날로그 출력(A/B)】
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